发明公开
- 专利标题: 用于光刻设备的抗蚀剂下层
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申请号: CN202280089234.0申请日: 2022-12-20
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公开(公告)号: CN118575132A公开(公告)日: 2024-08-30
- 发明人: S·F·伍伊斯特
- 申请人: ASML荷兰有限公司
- 申请人地址: 荷兰
- 专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址: 荷兰
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 胡良均
- 优先权: 22152243.6 20220119 EP
- 国际申请: PCT/EP2022/087032 2022.12.20
- 国际公布: WO2023/138864 EN 2023.07.27
- 进入国家日期: 2024-07-17
- 主分类号: G03F7/09
- IPC分类号: G03F7/09 ; G03F7/095 ; G03F7/11
摘要:
本文中公开了一种用于光刻设备的衬底布置,该衬底布置包括:抗蚀剂;光敏的抗蚀剂下层;以及衬底;其中抗蚀剂下层的曝光阈值低于抗蚀剂的曝光阈值。抗蚀剂和抗蚀剂下层对EUV辐射都是光敏的。