一种固态结构光三维成像系统及方法，系统包含设置在目标物体上方的一个固态结构光投射器和用于图像信息采集的相机系统，方法包括：步骤1，搭建基于固态结构光投射技术的三维成像系统并确定发光模式；步骤2，投射并采集固态结构光图像信息；步骤3，利用步骤2采集到的结构光图像信息进行相位求解；步骤4，利用步骤3所得的相位信息重建深度图和三维点云；本发明通过利用可寻址VCSEL的垂直腔面激光发射器阵列配合空间位置、入射角度、入射波长，或者偏振方向等参量响应的超表面调制器，对光波的相位和振幅进行调制，以全固态方式实现结构光调制和投射，从而实现高精度三维信息的恢复，具高系统的可靠性高，体积小，速度快，成本低的特点。