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公开(公告)号：CN112945144A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110171609.5
申请日：2021-02-08
申请人： 西安知象光电科技有限公司
IPC分类号： G01B11/25
摘要： 本发明公开了一种多MEMS振镜结构光三维扫描系统，将2个或更多个MEMS振镜排列成阵列进行结构光三维扫描的方法，该扫描系统采用的投射器包含了2个或更多个MEMS微振镜激光投射单元。具有投射光强比单个MEMS振镜投射方案大数倍的优点，得到了大景深高亮度的投影图案，可以为大于1米的中远距离三维扫描提供低成本的解决方案。
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公开(公告)号：CN113009685A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110158136.5
申请日：2021-02-05
申请人： 西安知象光电科技有限公司
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 本发明公开了一种芯片级真空密封的静电式振镜，由基板、背腔板、绝缘层、结构层、平坦层以及前腔板自下而上依次堆叠连接构成。振镜可动部分位于真空环境，相对于非真空密封的振镜，本发明的振镜可动部分振动时不会与空气作用，从而消除了可动部件与空气作用的噪声。可动结构材料内部振动的能量极小，且由于密封在真空中，所产生的少量振动不会传导至外部，进一步消除了噪声。振镜镜体、驱动梳齿等可动结构振动时无空气阻尼，大幅降低空气阻尼造成的能量损失，振镜功耗显著降低；振镜镜体、驱动梳齿等可动结构振动时无空气阻尼，相同驱动电压下可获得更大转角；相同转角时所需驱动电压低，进一步扩大了振镜的应用领域，降低了驱动要求。
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公开(公告)号：CN116222433A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310286922.2
申请日：2023-03-22
申请人： 西安知象光电科技有限公司
摘要： 一种基于超表面的结构光三维成像系统及方法，通过使用基于超表面的调控器件对激光光束进行高质量的调控，使用MEMS微镜进行激光光束的扫描投射，配合相关的结构光设计和解调方法，实现对物体表面三维信息的高精度重建；本发明实现了对结构光的精细调控，提升结构光光场的质量、降低激光散斑、提升功率，从而达到提高三维成像精度和鲁棒性的目的。
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公开(公告)号：CN113009685B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110158136.5
申请日：2021-02-05
申请人： 西安知象光电科技有限公司
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 本发明公开了一种芯片级真空密封的静电式振镜，由基板、背腔板、绝缘层、结构层、平坦层以及前腔板自下而上依次堆叠连接构成。振镜可动部分位于真空环境，相对于非真空密封的振镜，本发明的振镜可动部分振动时不会与空气作用，从而消除了可动部件与空气作用的噪声。可动结构材料内部振动的能量极小，且由于密封在真空中，所产生的少量振动不会传导至外部，进一步消除了噪声。振镜镜体、驱动梳齿等可动结构振动时无空气阻尼，大幅降低空气阻尼造成的能量损失，振镜功耗显著降低；振镜镜体、驱动梳齿等可动结构振动时无空气阻尼，相同驱动电压下可获得更大转角；相同转角时所需驱动电压低，进一步扩大了振镜的应用领域，降低了驱动要求。
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公开(公告)号：CN112965238B
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110166995.9
申请日：2021-02-05
申请人： 西安知象光电科技有限公司
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 本发明公开了一种压电驱动的真空密封微镜，自下而上依次由基板、背腔板、隔离层、结构层以及前腔板连接构成。微镜内部具有真空腔体，结构层中的可动部分位于该真空腔体内；可动部分的振动均发生在真空环境中，不产生结构与空气相互作用的噪声，同时结构内部的微弱振动由于处于真空环境而无法通过空气传导至微镜外。微镜的结构层包括单轴和双轴两种形式，分别对应单轴微镜和双轴微镜。微镜采用压电驱动。本发明微镜采用一体化微纳制造工艺制备，实现了芯片级的真空密封，极大降低乃至消除了噪声，同时芯片体积小，结构紧凑，适用范围大。
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公开(公告)号：CN112965238A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110166995.9
申请日：2021-02-05
申请人： 西安知象光电科技有限公司
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 本发明公开了一种压电驱动的真空密封微镜，自下而上依次由基板、背腔板、隔离层、结构层以及前腔板连接构成。微镜内部具有真空腔体，结构层中的可动部分位于该真空腔体内；可动部分的振动均发生在真空环境中，不产生结构与空气相互作用的噪声，同时结构内部的微弱振动由于处于真空环境而无法通过空气传导至微镜外。微镜的结构层包括单轴和双轴两种形式，分别对应单轴微镜和双轴微镜。微镜采用压电驱动。本发明微镜采用一体化微纳制造工艺制备，实现了芯片级的真空密封，极大降低乃至消除了噪声，同时芯片体积小，结构紧凑，适用范围大。
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公开(公告)号：CN118583082A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410841777.4
申请日：2024-06-26
申请人： 西安知象光电科技有限公司
摘要： 一种固态结构光三维成像系统及方法，系统包含设置在目标物体上方的一个固态结构光投射器和用于图像信息采集的相机系统，方法包括：步骤1，搭建基于固态结构光投射技术的三维成像系统并确定发光模式；步骤2，投射并采集固态结构光图像信息；步骤3，利用步骤2采集到的结构光图像信息进行相位求解；步骤4，利用步骤3所得的相位信息重建深度图和三维点云；本发明通过利用可寻址VCSEL的垂直腔面激光发射器阵列配合空间位置、入射角度、入射波长，或者偏振方向等参量响应的超表面调制器，对光波的相位和振幅进行调制，以全固态方式实现结构光调制和投射，从而实现高精度三维信息的恢复，具高系统的可靠性高，体积小，速度快，成本低的特点。
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公开(公告)号：CN116222433B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310286922.2
申请日：2023-03-22
申请人： 西安知象光电科技有限公司
摘要： 一种基于超表面的结构光三维成像系统及方法，通过使用基于超表面的调控器件对激光光束进行高质量的调控，使用MEMS微镜进行激光光束的扫描投射，配合相关的结构光设计和解调方法，实现对物体表面三维信息的高精度重建；本发明实现了对结构光的精细调控，提升结构光光场的质量、降低激光散斑、提升功率，从而达到提高三维成像精度和鲁棒性的目的。
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公开(公告)号：CN112945144B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202110171609.5
申请日：2021-02-08
申请人： 西安知象光电科技有限公司
IPC分类号： G01B11/25
摘要： 本发明公开了一种多MEMS振镜结构光三维扫描系统，将2个或更多个MEMS振镜排列成阵列进行结构光三维扫描的方法，该扫描系统采用的投射器包含了2个或更多个MEMS微振镜激光投射单元。具有投射光强比单个MEMS振镜投射方案大数倍的优点，得到了大景深高亮度的投影图案，可以为大于1米的中远距离三维扫描提供低成本的解决方案。
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