一种节能型半导体生产用扩散炉
摘要:
本发明属于半导体扩散技术领域,具体的说是一种节能型半导体生产用扩散炉,包括安装架、扩散炉组件、气管、升降组件和晶舟;本发明通过升降组件带动晶舟向炉筒内部移动,密封机构对降温筒上端开口与一号连接件侧壁之间的缝隙进行密封,使气体与晶圆产生沉积反应;升降组件带动一号连接件向下移动,带动晶舟向下移动,密封机构对降温筒上端开口与连接结构侧壁之间的缝隙进行密封,对炉筒下端进行密封,冷却气源持续工作,对晶圆进行降温;密封机构对降温筒上端开口与连接结构侧壁之间的缝隙进行密封,降低炉筒内热量的流失速度,降低下次使用时需要提升的温度,降低能耗;密封机构与升降组件配合,方便晶舟上下移动,提高扩散炉的便利性。
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