发明公开
- 专利标题: 一种太阳能电池及其制备方法
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申请号: CN202410715188.1申请日: 2024-06-04
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公开(公告)号: CN118610301A公开(公告)日: 2024-09-06
- 发明人: 杨少冲 , 孙晓凯 , 陈同飞 , 张冰 , 刘苗
- 申请人: 晶澳太阳能有限公司
- 申请人地址: 河北省邢台市宁晋县晶龙大街
- 专利权人: 晶澳太阳能有限公司
- 当前专利权人: 晶澳太阳能有限公司
- 当前专利权人地址: 河北省邢台市宁晋县晶龙大街
- 代理机构: 北京市万慧达律师事务所
- 代理商 冉韦韦
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L21/02 ; H01L31/06 ; B08B3/08 ; B08B3/04
摘要:
本发明属于太阳能电池领域,涉及一种太阳能电池制备方法,包括以下步骤:硅片双面制绒;硅片正面制备PN结;硅片背面碱抛;碱抛清洗,所述碱抛清洗包括氧化清洗、中和清洗、慢提拉和烘干;隧穿氧化层沉积;所述碱抛清洗还包括:一次流动水冲洗,所述中和清洗步骤后进行所述一次流动水冲洗,所述流动水为纯水;循环水漂洗,所述慢提拉前先进行循环水漂洗,所述循环水为纯水。在碱抛清洗工艺中,增加处理硅片表面残留化剂的流动纯水冲洗和循环热水冲洗工序,并通过优化清洗流程顺序,有效降低氯化钠残留,提高硅片良品率,同时尽可能的缩短清洗时间,减少纯水用量,提高产线效率。