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发明公开
一种太阳能电池及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN118610301A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410715188.1

申请日：2024-06-04

申请人： 晶澳太阳能有限公司

发明人： 杨少冲 , 孙晓凯 , 陈同飞 , 张冰 , 刘苗

IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/02 , H01L31/06 , B08B3/08 , B08B3/04

摘要： 本发明属于太阳能电池领域，涉及一种太阳能电池制备方法，包括以下步骤：硅片双面制绒；硅片正面制备PN结；硅片背面碱抛；碱抛清洗，所述碱抛清洗包括氧化清洗、中和清洗、慢提拉和烘干；隧穿氧化层沉积；所述碱抛清洗还包括：一次流动水冲洗，所述中和清洗步骤后进行所述一次流动水冲洗，所述流动水为纯水；循环水漂洗，所述慢提拉前先进行循环水漂洗，所述循环水为纯水。在碱抛清洗工艺中，增加处理硅片表面残留化剂的流动纯水冲洗和循环热水冲洗工序，并通过优化清洗流程顺序，有效降低氯化钠残留，提高硅片良品率，同时尽可能的缩短清洗时间，减少纯水用量，提高产线效率。