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真空蒸镀方法
摘要:
本发明提供一种真空蒸镀方法,能够尽量抑制蒸镀舟皿上产生的局部变形的进行,延长蒸镀舟皿的使用寿命。包含蒸发工序,其使用蒸镀舟皿(3),以与限定收纳部的舟皿主体的底板抵接的方式从其上方供给线状的蒸镀材料,通过在两电极安装板部间通电而加热舟皿主体,使收纳部内的蒸镀材料蒸发,其中,所述蒸镀舟皿具有:具有蒸镀材料(Em)的收纳部(31a)的作为蒸镀源(BS)的舟皿主体(31);以及分别从舟皿主体的两端伸出的电极安装板部(33)。还包括移位工序,其在供给线状的蒸镀材料期间,通过与舟皿主体的底板抵接的线状的蒸镀材料的前端部(Em1)相对于舟皿主体的相对移动而使前端部连续或间歇地移位。
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