一种单晶金刚石横向生长辅助装置及其工作方法
摘要:
本发明公开了一种单晶金刚石横向生长辅助装置,涉及金刚石生产技术领域。包括:等离子反应腔,用于产生等离子体球;基台腔,与所述等离子反应腔相连通;基台腔内设置有基台,基台腔的内壁于第一高度设置有柔性薄膜,所述柔性薄膜的中部密封连接有一安装环,安装环与基台可拆卸连接;安装环与基台连接时,所述柔性薄膜、安装环、基台将基台腔分隔成上下两部分;三轴驱动机构,用于驱动所述基台运动;以实现基台相对/背离安装环运动和基台与等离子体球的横向运动。本发明在金刚石生长过程中,使得衬底材料可相对等离子体球横向运动,形成金刚石材料沿横向生长的效果。
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