发明公开
- 专利标题: 一种单晶金刚石横向生长辅助装置及其工作方法
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申请号: CN202410885794.8申请日: 2024-07-03
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公开(公告)号: CN118639322A公开(公告)日: 2024-09-13
- 发明人: 余斌 , 余海粟 , 朱轶方 , 李陈陈
- 申请人: 杭州超然金刚石有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区鸿兴路158号2号楼2-117
- 专利权人: 杭州超然金刚石有限公司
- 当前专利权人: 杭州超然金刚石有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区鸿兴路158号2号楼2-117
- 代理机构: 杭州信与义专利代理有限公司
- 代理商 马育妙
- 主分类号: C30B25/00
- IPC分类号: C30B25/00 ; C30B25/12 ; C30B25/08 ; C30B29/04
摘要:
本发明公开了一种单晶金刚石横向生长辅助装置,涉及金刚石生产技术领域。包括:等离子反应腔,用于产生等离子体球;基台腔,与所述等离子反应腔相连通;基台腔内设置有基台,基台腔的内壁于第一高度设置有柔性薄膜,所述柔性薄膜的中部密封连接有一安装环,安装环与基台可拆卸连接;安装环与基台连接时,所述柔性薄膜、安装环、基台将基台腔分隔成上下两部分;三轴驱动机构,用于驱动所述基台运动;以实现基台相对/背离安装环运动和基台与等离子体球的横向运动。本发明在金刚石生长过程中,使得衬底材料可相对等离子体球横向运动,形成金刚石材料沿横向生长的效果。