本申请提出了一种薄膜探针卡及其探针针尖更换工艺，该薄膜探针卡包括薄膜探针主体、开设在薄膜探针主体底面上的若干探针座以及若干探针针尖，各探针座均具有向内凹陷的空腔，空腔内填充有第一金属，若干探针针尖的上端部分别通过第一金属固定在空腔内。本申请采用电镀的方法将新的探针针尖锚定在探针座中，可以减少薄膜损耗，实现对薄膜探针主体的重复利用，还可以节约测试成本和加工周期。由于影响探针卡高频性能的线路都在薄膜探针主体当中，因此通过本申请的工艺更换探针针尖不会影响探针卡的高频性能。