使用后侧涂层来调谐声学谐振器
摘要:
提供了一种滤波器装置,该滤波器装置包括基板和附接到该基板的压电板。导体图案(638a、638b、738a、738b)形成在压电板的第一表面上,并且包括串联谐振器和并联谐振器的叉指换能器,每个叉指换能器在悬置板的相应振膜处具有交错指状物。第一介电涂层(612、712)形成在IDT的交错指状物上方以及压电板的第一表面上;以及第二介电涂层(614、714)形成在压电板的与第一表面相对的第二表面上。并联谐振器的第二介电涂层(714)的厚度(tbd7)比串联谐振器的至少一个第二介电涂层(614)的厚度(tbd6)大。
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