发明公开
- 专利标题: 使用后侧涂层来调谐声学谐振器
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申请号: CN202380022091.6申请日: 2023-02-16
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公开(公告)号: CN118715712A公开(公告)日: 2024-09-27
- 发明人: 肖恩·麦克休
- 申请人: 株式会社村田制作所
- 申请人地址: 日本
- 专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人地址: 日本
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 韩聪
- 优先权: 18/169,251 20230215 US 18/169,251 20230215 US
- 国际申请: PCT/US2023/062695 2023.02.16
- 国际公布: WO2023/159091 EN 2023.08.24
- 进入国家日期: 2024-08-15
- 主分类号: H03H3/04
- IPC分类号: H03H3/04 ; H03H9/02 ; H03H9/17 ; H03H9/56
摘要:
提供了一种滤波器装置,该滤波器装置包括基板和附接到该基板的压电板。导体图案(638a、638b、738a、738b)形成在压电板的第一表面上,并且包括串联谐振器和并联谐振器的叉指换能器,每个叉指换能器在悬置板的相应振膜处具有交错指状物。第一介电涂层(612、712)形成在IDT的交错指状物上方以及压电板的第一表面上;以及第二介电涂层(614、714)形成在压电板的与第一表面相对的第二表面上。并联谐振器的第二介电涂层(714)的厚度(tbd7)比串联谐振器的至少一个第二介电涂层(614)的厚度(tbd6)大。