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公开(公告)号：CN118715712A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202380022091.6
申请日：2023-02-16
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 肖恩·麦克休
摘要： 提供了一种滤波器装置，该滤波器装置包括基板和附接到该基板的压电板。导体图案(638a、638b、738a、738b)形成在压电板的第一表面上，并且包括串联谐振器和并联谐振器的叉指换能器，每个叉指换能器在悬置板的相应振膜处具有交错指状物。第一介电涂层(612、712)形成在IDT的交错指状物上方以及压电板的第一表面上；以及第二介电涂层(614、714)形成在压电板的与第一表面相对的第二表面上。并联谐振器的第二介电涂层(714)的厚度(tbd7)比串联谐振器的至少一个第二介电涂层(614)的厚度(tbd6)大。
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公开(公告)号：CN118355604A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202280080823.2
申请日：2022-12-07
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 肖恩·麦克休 , 布莱恩特·加西亚 , 温切斯拉夫·扬捷切夫 , 格雷格·戴尔
IPC分类号： H03H9/02
摘要： 公开了声波谐振器器件和滤波器。声波谐振器(400)包括衬底和具有正表面和背表面的压电板(410)，背表面附接到衬底。解耦介电层(450)在压电板的正表面上。叉指换能器(IDT)(438)形成在解耦介电层上方，使得IDT的交错的指状物在压电板的悬跨在衬底中形成的空腔上的部分的上方。交错的指状物的厚度大于或等于压电板的厚度的1.17倍，并且小于或等于压电板的厚度的1.7倍。
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公开(公告)号：CN118285055A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202280077257.X
申请日：2022-11-21
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 肖恩·麦克休
摘要： 公开了滤波器件和制造的方法。一种声学滤波器件包括基板(720)和压电板(710)，压电板的第一部分跨越基板中的第一空腔(740B)，并且压电板的第二部分跨越基板中的第二空腔(740A)。压电板的第一部分和第二部分的前表面上的解耦介电层(750A、750B)在第一部分上具有第一厚度td1并且在第二部分上具有比第一厚度大的第二厚度td2。第一叉指换能器的交错指在压电板的第一部分之上的解耦介电层上，并且第二IDT的交错指在压电板的第二部分之上的解耦介电层上。
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公开(公告)号：CN116915204A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310390355.5
申请日：2023-04-12
申请人： 株式会社村田制作所
摘要： 一种体声学谐振器，包括：衬底、压电板和形成在压电板的前表面上的叉指换能器(IDT)。该IDT被配置为在压电板内激发初级剪切声学模式。还包括在压电板的前表面和后表面中的至少一个上的半λ介电层，其中，半λ介电层的厚度与半λ介电层中的基本剪切体声波谐振的波长相关。该设备还包括夹持在衬底的表面和压电板的后表面之间的声学布拉格反射器，该声学布拉格反射器被配置为反射初级声学模式。声学布拉格反射器的交替层的顶层接触压电板或半λ介电层。
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公开(公告)号：CN117915250A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311353514.0
申请日：2023-10-18
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H04R17/00
摘要： 提供了一种用于对射频信号进行滤波的装置。该装置包括基板和耦接到基板的振膜，振膜包括压电材料。该装置还包括耦接到振膜的叉指换能器(IDT)并且包括多个交错指状物。该装置还包括盖子，其中振膜布置在基板和盖子之间，其中，在振膜的第一主表面和盖子之间具有第一空腔，第一空腔具有第一高度，并且在振膜的与第一主表面相对的第二主表面和基板之间具有第二空腔，第二空腔具有第二高度。此外，振膜的第一主表面和盖子之间的第一高度大于多个交错指状物中的至少一对交错指状物的间距，并且至多是第二高度的四倍。
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