用于检测高密度互连板对准度的方法
摘要:
本发明公开了一种用于检测高密度互连板对准度的方法,包括模块设置步骤:于多层板体的待镭射孔最顶部设置待测模块;镭射打孔步骤:在进行镭射打孔时,于待测模块向各待镭射孔方向一并进行打孔;导通测试步骤:打孔后的待测模块通过电测设备进行导通测试,若测得导通,则视为邻近的镭射孔产生了偏移,若测得不导通,则视为邻近的镭射孔偏移量在正常范围内。本发明解决了现有技术中采用目测法不能量化高密度互连板对准度偏移量的问题。
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