发明公开
- 专利标题: 一种脉冲晶闸管铝金属电极的形成方法
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申请号: CN202410925600.2申请日: 2024-07-11
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公开(公告)号: CN118800650A公开(公告)日: 2024-10-18
- 发明人: 赖桂森 , 谢桂泉 , 方苏 , 罗宇航 , 徐晟 , 王晨涛 , 苏国磊 , 张朝辉 , 苏杰和 , 凌永兴 , 焦石 , 龙建华 , 甘卿忠 , 庄小亮 , 刘宇航 , 黄永瑞 , 邵珠柯 , 张磊 , 王国卫 , 王映卓 , 李梦
- 申请人: 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局 , 许继电气股份有限公司 , 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司
- 申请人地址: 广东省广州市黄埔区科学大道223号2号楼; ;
- 专利权人: 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局,许继电气股份有限公司,西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司
- 当前专利权人: 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局,许继电气股份有限公司,西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省广州市黄埔区科学大道223号2号楼; ;
- 代理机构: 北京维一知享知识产权代理有限公司
- 代理商 杨壮
- 主分类号: H01L21/28
- IPC分类号: H01L21/28 ; H01L29/417 ; H01L29/423
摘要:
本发明公开了一种脉冲晶闸管铝金属电极的形成方法,包括如下步骤:在脉冲晶闸管阴极、门极处加工出厚度均匀的铝层;在铝层表面涂覆光刻胶膜后进行曝光显影,在铝层上形成具有预设形状的刻蚀窗口,刻蚀窗口位于门极与阴极之间的区域;使门极与阴极之间形成空间间隔区;去除剩余铝层表面的光刻胶膜,并在脉冲晶闸管表面再次涂覆光刻胶膜且曝光显影;采用干法刻蚀对门极刻蚀窗口内的铝层进行刻蚀;与现有技术相对比,本发明具有以下有益效果:通过本发明的脉冲晶闸管铝电极形成方法,既可以避免现有铝电极工艺中两次蒸铝造成的生产周期长、成本高的问题,又能解决门阴极高度差造成的钻蚀问题,提升脉冲晶闸管的di/dt性能和门‑阴极长期可靠性。
IPC分类: