一种脉冲晶闸管铝金属电极的形成方法
摘要:
本发明公开了一种脉冲晶闸管铝金属电极的形成方法,包括如下步骤:在脉冲晶闸管阴极、门极处加工出厚度均匀的铝层;在铝层表面涂覆光刻胶膜后进行曝光显影,在铝层上形成具有预设形状的刻蚀窗口,刻蚀窗口位于门极与阴极之间的区域;使门极与阴极之间形成空间间隔区;去除剩余铝层表面的光刻胶膜,并在脉冲晶闸管表面再次涂覆光刻胶膜且曝光显影;采用干法刻蚀对门极刻蚀窗口内的铝层进行刻蚀;与现有技术相对比,本发明具有以下有益效果:通过本发明的脉冲晶闸管铝电极形成方法,既可以避免现有铝电极工艺中两次蒸铝造成的生产周期长、成本高的问题,又能解决门阴极高度差造成的钻蚀问题,提升脉冲晶闸管的di/dt性能和门‑阴极长期可靠性。
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