静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法

发明公开

CN118830071A 静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法审中-公开

摘要：

一种静电卡盘部件，其具有：基体，一个主表面为载置板状试样的载置面；及静电吸附用电极，设置于与载置面相反的一侧或基体的内部，在基体的与载置面连续的侧周面至少具有：第1曲面，其为在载置面的周缘部沿周向设置的凸曲面；及第2曲面，在与第1曲面不同的高度位置沿周向设置。

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IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67	.专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683	..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）