本发明涉及晶圆干燥技术领域，公开了一种晶圆干燥方法及晶圆干燥装置，晶圆干燥方法包括：将晶圆放置于干燥腔室内的旋转平台上；通过第一喷嘴向旋转的晶圆的表面传输混合液体，以在表面形成液膜，其中，混合液体为去离子水和醇类表面活性剂混合的液体；通过第二喷嘴向旋转的晶圆的表面传输混合气体，以置换液膜，完成对晶圆的干燥，其中，混合气体为异丙酮蒸汽和氮气混合的气体，第一喷嘴和第二喷嘴以相同的速度从晶圆的中心向晶圆的边缘移动。本发明通过去离子水和醇类表面活性剂的混合液体在晶圆表面布液，能够使晶圆表面形成的液膜更加均匀，减少异丙酮直接接触晶圆表面或未完全置换液膜的情况，提升晶圆表面的洁净度。