一种银基复合透明导电薄膜及其制备方法
摘要:
本发明提供一种银基复合透明导电薄膜及其制备方法,清洗透明基底并放入已装好银靶材、金属靶材以及氧化物靶材的磁控溅射腔体中;在透明基底上依次溅射形成第一层透明氧化物层、岛状超薄银层、金属层(将岛状银层连接)、第二层透明氧化物层。其中对导电性能其关键作用的为超薄银薄膜和金属薄膜,利用沉积的金属层将孤立的银岛连接,从而降低表面粗糙度,使方阻下降。同时在超薄银薄膜/金属薄膜界面,由于银与所沉积金属间的折射率差异,还可形形成干涉效应,从而降低光的反射,使透光率增加。超薄银薄膜和金属薄膜沉积相对独立,因此工艺参数灵活多变。
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