- 专利标题: 一种银基复合透明导电薄膜及其制备方法
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申请号: CN202411084247.6申请日: 2024-08-08
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公开(公告)号: CN118908591A公开(公告)日: 2024-11-08
- 发明人: 郑浩然 , 郭海龙 , 杨盼 , 肖心远 , 于仕辉 , 赵晓芳 , 张胜宾 , 张永栋 , 刘华珠
- 申请人: 广东交通职业技术学院
- 申请人地址: 广东省广州市天河区天源路789号
- 专利权人: 广东交通职业技术学院
- 当前专利权人: 广东交通职业技术学院
- 当前专利权人地址: 广东省广州市天河区天源路789号
- 代理机构: 广州华穗知识产权代理事务所(普通合伙) 44945专利代理师杨瑾
- 主分类号: C03C17/36
- IPC分类号: C03C17/36 ; C23C14/35 ; C23C14/08 ; C23C14/18 ; B82Y30/00 ; B82Y20/00 ; B82Y40/00
摘要:
本发明提供一种银基复合透明导电薄膜及其制备方法,清洗透明基底并放入已装好银靶材、金属靶材以及氧化物靶材的磁控溅射腔体中;在透明基底上依次溅射形成第一层透明氧化物层、岛状超薄银层、金属层(将岛状银层连接)、第二层透明氧化物层。其中对导电性能其关键作用的为超薄银薄膜和金属薄膜,利用沉积的金属层将孤立的银岛连接,从而降低表面粗糙度,使方阻下降。同时在超薄银薄膜/金属薄膜界面,由于银与所沉积金属间的折射率差异,还可形形成干涉效应,从而降低光的反射,使透光率增加。超薄银薄膜和金属薄膜沉积相对独立,因此工艺参数灵活多变。