发明公开
CN118922464A 保护膜形成用组合物
审中-公开
- 专利标题： 保护膜形成用组合物
-
申请号： CN202380028626.0申请日： 2023-03-09
-
公开(公告)号： CN118922464A公开(公告)日： 2024-11-08
- 发明人: 上林哲
- 申请人： 日产化学株式会社
- 申请人地址： 日本
- 专利权人： 日产化学株式会社
- 当前专利权人： 日产化学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 李渊茹; 段承恩
- 优先权： 2022-048638 20220324 JP
- 国际申请： PCT/JP2023/009020 2023.03.09
- 国际公布： WO2023/181960 JA 2023.09.28
- 进入国家日期： 2024-09-19
- 主分类号： C08G59/20
- IPC分类号： C08G59/20 ; G03F7/11 ; G03F7/26 ; G03F7/40 ; H01L21/027 ; H01L21/306 ; H01L21/312
摘要：
具有下述式(1)所示的部分结构、下述式(2)所示的部分结构和下述式(3)所示的部分结构的聚合物。(在式(2)中，Q1表示具有芳香族烃环或脂肪族烃环的2价有机基。在式(3)中，R11表示碳原子数1～10的亚烷基。)#imgabs0#
