包含含锍基的醚化合物的镀液
摘要:
本发明提供一种填孔特性优异、能够形成平坦的镀敷表面的镀液。一种镀液,其含有水溶性的金属盐和含锍基的醚化合物。金属盐优选为包含铜的盐,含锍基的醚化合物优选为质均分子量2,000以上10,000以下的化合物。另外,镀液中的含锍基的醚化合物的浓度优选为0.1mg/L~1g/L。
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