本发明公开了一种无氢化硅的滤光膜及其设计、制备方法和应用。无氢化硅的滤光膜包括基底和覆盖在基底上的膜层，膜层包括堆叠的非晶硅吸收层、二氧化钛高折射率层和二氧化硅低折射率层。制备方法包括：采用磁控溅射法，在基底上镀制非晶硅吸收层、二氧化钛高折射率层和二氧化硅低折射率层形成膜层，得到无氢化硅的滤光膜。本发明以目标波段的反射率、透过率为目标光学性能，设定初始膜层结构，利用导纳法或矩阵法，依据用于组成膜层的材料的光学常数信息对膜层结构进行优化计算，直至满足或优于目标光学性能，得到最终的膜层结构。本发明滤光膜可应用于车载激光雷达视窗中。