公开(公告)号：CN118962883A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411077327.9

申请日：2024-08-07

申请人： 浙江大学宁波“五位一体”校区教育发展中心

发明人： 马赛男 ,  葛芳琪 ,  刘涌 ,  韩高荣 ,  王立坤 ,  龚煜

IPC分类号： G02B5/28 ,  G02B5/22 ,  G02B27/00 ,  G01S7/481 ,  G01S17/931 ,  C23C14/08 ,  C23C14/10 ,  C23C14/14 ,  C23C14/35

摘要： 本发明公开了一种无氢化硅的滤光膜及其设计、制备方法和应用。无氢化硅的滤光膜包括基底和覆盖在基底上的膜层，膜层包括堆叠的非晶硅吸收层、二氧化钛高折射率层和二氧化硅低折射率层。制备方法包括：采用磁控溅射法，在基底上镀制非晶硅吸收层、二氧化钛高折射率层和二氧化硅低折射率层形成膜层，得到无氢化硅的滤光膜。本发明以目标波段的反射率、透过率为目标光学性能，设定初始膜层结构，利用导纳法或矩阵法，依据用于组成膜层的材料的光学常数信息对膜层结构进行优化计算，直至满足或优于目标光学性能，得到最终的膜层结构。本发明滤光膜可应用于车载激光雷达视窗中。