Invention Publication

一种晶圆取片器
Abstract:
本发明公开了一种晶圆取片器,涉及晶圆加工技术领域,解决了现有的晶圆取片器通常只能一次取一片晶圆,取片效率不高以及取片之前难以自行扶正导致取片不精准的问题。该晶圆取片器,包括安装板,所述安装板的一侧固定有支撑架,所述支撑架的前内壁上转动连接有转筒,所述支撑架的后内壁上固定有固定筒,所述转筒转动连接在固定筒的外侧,所述转筒的侧壁上固定有限位套筒,所述限位套筒内滑动连接有活动套筒,所述活动套筒的外端固定有自动取料机构;在本发明中,转筒和四个限位套筒可整体旋转,方便轮流使用四个自动取料机构来取料,方便一次性拿取四个晶圆,以便提高取片效率,在取片之前可利用夹块来夹持扶正晶圆,保证精准吸取晶圆。
Patent Agency Ranking
0/0