Invention Publication
CN119275148A 一种晶圆取片器
审中-实审
- Patent Title: 一种晶圆取片器
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Application No.: CN202411188873.XApplication Date: 2024-08-28
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Publication No.: CN119275148APublication Date: 2025-01-07
- Inventor: 丁劲锋 , 刘念 , 莫玲莹 , 覃发超 , 华鸣峰
- Applicant: 无锡中斯盾科技有限公司
- Applicant Address: 江苏省无锡市梁溪区锡沪东路387-205
- Assignee: 无锡中斯盾科技有限公司
- Current Assignee: 无锡中斯盾科技有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省无锡市梁溪区锡沪东路387-205
- Agency: 无锡华建知识产权代理事务所
- Agent 周洁
- Main IPC: H01L21/677
- IPC: H01L21/677 ; H01L21/68 ; H01L21/683 ; H01L21/687

Abstract:
本发明公开了一种晶圆取片器,涉及晶圆加工技术领域,解决了现有的晶圆取片器通常只能一次取一片晶圆,取片效率不高以及取片之前难以自行扶正导致取片不精准的问题。该晶圆取片器,包括安装板,所述安装板的一侧固定有支撑架,所述支撑架的前内壁上转动连接有转筒,所述支撑架的后内壁上固定有固定筒,所述转筒转动连接在固定筒的外侧,所述转筒的侧壁上固定有限位套筒,所述限位套筒内滑动连接有活动套筒,所述活动套筒的外端固定有自动取料机构;在本发明中,转筒和四个限位套筒可整体旋转,方便轮流使用四个自动取料机构来取料,方便一次性拿取四个晶圆,以便提高取片效率,在取片之前可利用夹块来夹持扶正晶圆,保证精准吸取晶圆。
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