本发明提供一种提高太阳能电池片半切片组件功率的方法，包括：（1）提供一个化学气相沉积室，化学气相沉积室内设有载具，载具设有沉积开口，沉积开口上方设有激光光源；（2）将切片放置于载具中并使得所述切片断面从沉积开口完全外露，抽真空，一次通入N2、通入TMA、抽真空、二次通入N2、通入水蒸气、抽真空，以此循环，在切片断面表面沉积氧化铝膜层；（3）采用激光光源对氧化铝膜层照射升温，退火，破真空出腔；步骤（2）中，单个循环中：控制TMA的总气流量小于一次通入N2的总气流量，控制水蒸气的总气流量小于二次通入N2的总气流量。本发明通过优化氧化铝膜层的沉积工艺，降低绕镀，提高组件功率。