本文中描述用于基于个别工具生产力度量及群生产力度量两者来评估个别半导体计量工具生产力的方法及系统。与每一个别工具相关联的生产力度量与一群工具相关联的生产力度量组合以快速且较少误报地识别问题工具。特定来说，在生产力由低频率事件驱动的情形中，明显更快地获得工具生产力结果。估计指示测量工具群中的个别工具的排名的置信度的一或多个准确度度量的值。另外，基于与测量工具群的个别工具相关联的未来故障事件的预测概率分布与故障事件的实际观察分布之间的差来预测故障事件的概率。