发明授权
CN1212268C 二氧化硅气凝胶薄膜材料的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 二氧化硅气凝胶薄膜材料的制备方法
- 专利标题（英）： Silica dioxide aerogel membrane material preparation method
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申请号： CN200310108722.0申请日： 2003-11-20
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公开(公告)号： CN1212268C公开(公告)日： 2005-07-27
- 发明人: 褚君浩 , 马建华 , 孟祥建 , 孙璟兰 , 王根水
- 申请人： 中国科学院上海技术物理研究所
- 申请人地址： 上海市玉田路500号
- 专利权人： 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人： 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人地址： 上海市玉田路500号
- 代理机构： 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 张泽纯
- 主分类号： C01B33/14
- IPC分类号： C01B33/14 ; C01B33/158
摘要：
本发明公开了一种二氧化硅气凝胶薄膜材料的制备方法，该方法是通过采用酸/碱两步催化的溶胶-凝胶工艺结合胶粒的有机硅烷化过程，并通过化学添加剂而实现的。本发明方法的最大优点是：配制的前驱体溶液性能稳定，可以存放9个月以上；制备的气凝胶薄膜成本低，有利于商业应用；制备的气凝胶薄膜孔洞率高，可用于集成器件的低介电常数绝缘层以及高效隔热层。
公开/授权文献
- CN1544324A 二氧化硅气凝胶薄膜材料的制备方法 公开/授权日：2004-11-10