发明授权
CN1246885C 研磨工具和使用其的研磨方法及装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 研磨工具和使用其的研磨方法及装置
- 专利标题（英）： Polish tool and its use method and device
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申请号： CN02119818.7申请日： 2002-03-28
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公开(公告)号： CN1246885C公开(公告)日： 2006-03-22
- 发明人: 关家臣之典 , 山本节男 , 狛丰 , 青木昌史 , 松谷直宏
- 申请人： 株式会社迪斯科
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社迪斯科
- 当前专利权人： 株式会社迪斯科
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 崔幼平; 郑建晖
- 优先权： 93397/01 2001.03.28 JP; 93398/01 2001.03.28 JP; 93399/01 2001.03.28 JP; 311450/01 2001.10.09 JP
- 主分类号： H01L21/304
- IPC分类号： H01L21/304 ; H01L21/463 ; B24B7/22 ; B24B1/00
摘要：
一种研磨工具，其包括支撑件和固定到该支撑件上的研磨装置。该研磨装置包括毡制品和散布到该毡制品中的磨粒，该毡制品的密度等于或者大于0.20克/厘米3并且其硬度等于或者大于30。一种在转动工件和研磨工具时将该研磨工具压靠到被研磨工件表面上的研磨方法和设备。
公开/授权文献
- CN1384534A 打磨工具和使用其的打磨方法及装置 公开/授权日：2002-12-11
IPC分类:
