公开(公告)号：CN1384534A

公开(公告)日：2002-12-11

申请号：CN02119818.7

申请日：2002-03-28

申请人： 株式会社迪斯科

发明人： 关家臣之典 ,  山本节男 ,  狛丰 ,  青木昌史 ,  松谷直宏

IPC分类号： H01L21/304 ,  H01L21/463 ,  B24B7/22 ,  B24B1/00

CPC分类号： B24D11/00 ,  B24B7/228 ,  B24D13/147

摘要： 一种打磨工具,其包括支撑件和固定到该支撑件上的打磨装置。该打磨装置包括毡制品和散布到该毡制品中的磨粒,该毡制品的密度为0.20克/厘米3或以上,其硬度为30或以上。一种在转动工件和打磨工具时将该打磨工具压靠到被打磨工件表面上的打磨方法和设备。

公开(公告)号：CN1246885C

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN02119818.7

申请日：2002-03-28

申请人： 株式会社迪斯科

发明人： 关家臣之典 ,  山本节男 ,  狛丰 ,  青木昌史 ,  松谷直宏

IPC分类号： H01L21/304 ,  H01L21/463 ,  B24B7/22 ,  B24B1/00

CPC分类号： B24D11/00 ,  B24B7/228 ,  B24D13/147

摘要： 一种研磨工具，其包括支撑件和固定到该支撑件上的研磨装置。该研磨装置包括毡制品和散布到该毡制品中的磨粒，该毡制品的密度等于或者大于0.20克/厘米3并且其硬度等于或者大于30。一种在转动工件和研磨工具时将该研磨工具压靠到被研磨工件表面上的研磨方法和设备。