发明授权
- 专利标题： 垂直舟生长工艺用炉料及其应用
- 专利标题（英）： Charge for vertical boat growth process and use thereof
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申请号： CN98811320.1申请日： 1998-11-20
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公开(公告)号： CN1303263C公开(公告)日： 2007-03-07
- 发明人: 肖留 , 朱萌
- 申请人： AXT有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： AXT有限公司
- 当前专利权人： AXT有限公司,北京通美晶体技术有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 赵蓉民
- 优先权： 08/975,746 1997.11.21 US
- 国际申请： PCT/US1998/024849 1998.11.20
- 国际公布： WO1999/027164 EN 1999.06.03
- 进入国家日期： 2000-05-19
- 主分类号： C30B11/00
- IPC分类号： C30B11/00 ; C30B29/00
摘要：
在砷化镓单晶锭的垂直舟生长中，将预定数量的粉末石墨包含在炉料中，以直接确立生长晶锭中有关的预计目标电学特征。电学特征相应于生长晶锭中的碳的浓度。
公开/授权文献
- CN1279732A 垂直舟生长工艺用炉料及其应用 公开/授权日：2001-01-10
IPC分类:
