发明授权
CN1313894C 分压控制系统、流量控制系统以及用于分压控制系统的喷头板
失效 - 权利终止
- 专利标题： 分压控制系统、流量控制系统以及用于分压控制系统的喷头板
- 专利标题（英）： Partial pressure control system, flow rate control system and shower plate used for partial pressure control system
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申请号： CN200410047927.7申请日： 2004-06-09
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公开(公告)号： CN1313894C公开(公告)日： 2007-05-02
- 发明人: 长冈秀树 , 小泉浩 , 大藪淳 , 嵨津强 , 远藤宏纪 , 伊藤惠贵
- 申请人： 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳
- 优先权： 2003-163696 2003.06.09 JP
- 主分类号： G05D16/00
- IPC分类号： G05D16/00 ; G05D7/00 ; G05D11/00 ; C23C16/44 ; C23F4/00 ; H01L21/205 ; H01L21/22
摘要：
本发明提供一种分压控制系统，其能够减少作用气体的白白浪费，同时能够提高对设定改变等的响应性能。在分压控制系统(45)中设置：并联设置在作用气体供给管路中，可变地控制作用气体的二个阀门(8)；相对各个阀门(8)串联连接，检测作用气体的压力的压力传感器(3)；基于压力传感器(3)的检测结果来按比例控制阀门(8)的操作，由此相对地控制二个阀门(8)的输出压力P1，P2的控制器(25)。
公开/授权文献
- CN1573632A 分压控制系统、流量控制系统以及用于分压控制系统的喷头板 公开/授权日：2005-02-02
