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公开(公告)号：CN1787170A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200510130387.3
申请日：2005-12-09
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/3213 , C23F4/00
摘要： 在气体供给装置(100)上设置具有多个气体供给源的第一气体箱(111)和具有多个附加气体供给源的第二气体箱(113)。各气体供给源连接有混合管道(120)，混合管道(120)连接有通过不同缓冲室(63a、63b)的分支管道(122、123)。分支管道中分别设有压力调整部，由压力比控制部(126)调整压力比。在分支管道(123)的压力调整部下游侧连接有通过第二气体箱(113)的附加气体供给管道(130)。第一气体箱(111)的各气体由混合管道(120)混合，由分支管道分流，供给到各缓冲室。分支管道(123)上附加有第二气体箱(113)的附加气体，向缓冲室(63b)供给与缓冲室(63a)不同的混合气体。由此由简单管道结构向处理容器的多处供给任意的混合气体。
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公开(公告)号：CN100390933C
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200510130387.3
申请日：2005-12-09
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/3213 , C23F4/00
摘要： 在气体供给装置(100)上设置具有多个气体供给源的第一气体箱(111)和具有多个附加气体供给源的第二气体箱(113)。各气体供给源连接有混合管道(120)，混合管道(120)连接有通过不同缓冲室(63a、63b)的分支管道(122、123)。分支管道中分别设有压力调整部，由压力比控制部(126)调整压力比。在分支管道(123)的压力调整部下游侧连接有通过第二气体箱(113)的附加气体供给管道(130)。第一气体箱(111)的各气体由混合管道(120)混合，由分支管道分流，供给到各缓冲室。分支管道(123)上附加有第二气体箱(113)的附加气体，向缓冲室(63b)供给与缓冲室(63a)不同的混合气体。由此由简单管道结构向处理容器的多处供给任意的混合气体。
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公开(公告)号：CN1806216A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200480016146.X
申请日：2004-06-04
申请人： 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D16/20
CPC分类号： G05D16/206 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/87877
摘要： 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。
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公开(公告)号：CN1573632A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410047927.7
申请日：2004-06-09
申请人： 东京毅力科创株式会社
CPC分类号： H01L21/67253 , H01L21/67017 , Y10T137/2499 , Y10T137/7722 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8733
摘要： 本发明提供一种分压控制系统，其能够减少作用气体的白白浪费，同时能够提高对设定改变等的响应性能。在分压控制系统(45)中设置：并联设置在作用气体供给管路中，可变地控制作用气体的二个阀门(8)；相对各个阀门(8)串联连接，检测作用气体的压力的压力传感器(3)；基于压力传感器(3)的检测结果来按比例控制阀门(8)的操作，由此相对地控制二个阀门(8)的输出压力P1，P2的控制器(25)。
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公开(公告)号：CN105990088B
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201610168860.5
申请日：2016-03-23
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32091 , H01J37/32146 , H01J37/32174 , H01J37/32577
摘要： 本发明的电源系统、等离子体处理装置和电源控制方法能够抑制电子相对伴随向下部电极的高频电力的供给在被处理体上产生的等离子体鞘的弹回而导致的上部电极侧的放电。电源系统包括：对用于载置被处理体的下部电极供给等离子体生成用的高频电力的高频电源；直流电源，对与下部电极相对地配置的上部电极供给负的第一直流电压或绝对值比第一直流电压的绝对值大的负的第二直流电压；控制部，执行电源控制处理，交替地反复供给高频电力和停止供给，在供给高频电力期间中的、自高频电力的供给开始时起的第一期间停止供给第一直流电压和第二直流电压，并在该期间中的除第一期间外的第二期间供给第一直流电压，在停止高频电力的供给期间供给第二直流电压。
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公开(公告)号：CN105990088A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201610168860.5
申请日：2016-03-23
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32091 , H01J37/32146 , H01J37/32174 , H01J37/32577 , H01J37/32027 , H01J2237/334
摘要： 本发明的电源系统、等离子体处理装置和电源控制方法能够抑制电子相对伴随向下部电极的高频电力的供给在被处理体上产生的等离子体鞘的弹回而导致的上部电极侧的放电。电源系统包括：对用于载置被处理体的下部电极供给等离子体生成用的高频电力的高频电源；直流电源，对与下部电极相对地配置的上部电极供给负的第一直流电压或绝对值比第一直流电压的绝对值大的负的第二直流电压；控制部，执行电源控制处理，交替地反复供给高频电力和停止供给，在供给高频电力期间中的、自高频电力的供给开始时起的第一期间停止供给第一直流电压和第二直流电压，并在该期间中的除第一期间外的第二期间供给第一直流电压，在停止高频电力的供给期间供给第二直流电压。
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公开(公告)号：CN100454200C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200480016146.X
申请日：2004-06-04
申请人： 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D16/20
CPC分类号： G05D16/206 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/87877
摘要： 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。
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公开(公告)号：CN1313894C
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200410047927.7
申请日：2004-06-09
申请人： 东京毅力科创株式会社
CPC分类号： H01L21/67253 , H01L21/67017 , Y10T137/2499 , Y10T137/7722 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8733
摘要： 本发明提供一种分压控制系统，其能够减少作用气体的白白浪费，同时能够提高对设定改变等的响应性能。在分压控制系统(45)中设置：并联设置在作用气体供给管路中，可变地控制作用气体的二个阀门(8)；相对各个阀门(8)串联连接，检测作用气体的压力的压力传感器(3)；基于压力传感器(3)的检测结果来按比例控制阀门(8)的操作，由此相对地控制二个阀门(8)的输出压力P1，P2的控制器(25)。
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