发明公开
- 专利标题： 陶瓷及其制造方法、以及电介质电容器、半导体装置及元件
- 专利标题（英）： Ceramic and method for preparation thereof, and dielectric capacitor, semiconductor and element
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申请号： CN02802319.6申请日： 2002-06-13
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公开(公告)号： CN1464862A公开(公告)日： 2003-12-31
- 发明人: 名取荣治 , 木岛健 , 古山晃一 , 田崎雄三
- 申请人： 精工爱普生株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 余刚
- 优先权： 178840/2001 2001.06.13 JP; 193048/2001 2001.06.26 JP; 86139/2002 2002.03.26 JP
- 国际申请： PCT/JP2002/05902 2002.06.13
- 国际公布： WO2002/102712 JA 2002.12.27
- 进入国家日期： 2003-03-05
- 主分类号： C01B33/00
- IPC分类号： C01B33/00 ; H01L27/10 ; H01B3/12 ; H01B19/00
摘要：
一种陶瓷的制造方法，包括：形成一个具有氧八面体结构的复合氧化物材料与对该复合氧化物材料具有触媒作用的常介电体材料混合存在的膜；之后对该膜进行热处理，所述常介电体材料，由构成元素中含有Si的层状触媒物质，以及构成元素中含有Si及Ge的层状触媒物质构成。所述热处理包括烧结及退火，优选至少该退火在含有氧及臭氧中的一种气体的加压环境下进行。陶瓷是具有氧八面体结构的复合氧化物，该复合氧化物中含有Si及Ge。
