本发明提供辐射敏感树脂组合物，用该组合物容易高精度形成防水性变化的有图案绝缘膜，使用此组合物形成有图案绝缘膜的方法，使用此组合物的显示单元和平板显示设备，和生产平板显示设备的方法。所述树脂组合物包括特定比例的(A)碱溶性共聚物，(B)1，2－醌二叠氮化物化合物和(C)防水硅氧烷树脂。在有图案绝缘膜的生产方法中，在由树脂组合物形成的涂层上进行形成图案曝光和显影。显示单元和平板显示设备装配有由树脂组合物形成的间层绝缘膜。平板显示设备的生产方法包括间层绝缘膜形成步骤，该步骤包括在曝光中曝光导体层形成区域的形成图案曝光处理，在导体层形成区域的一部分中仅固化表面层部分，和在其它部分中固化在它的厚度方向上的整体，和采用液体材料在间层绝缘膜表面上形成导体层的导体层形成步骤。