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公开(公告)号:CN1479173A
公开(公告)日:2004-03-03
申请号:CN03152470.2
申请日:2003-04-15
IPC分类号: G03F7/039 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC分类号: G03F7/0007 , G02F1/136227 , G03F7/0233 , G03F7/0757
摘要: 本发明提供辐射敏感树脂组合物,用该组合物容易高精度形成防水性变化的有图案绝缘膜,使用此组合物形成有图案绝缘膜的方法,使用此组合物的显示单元和平板显示设备,和生产平板显示设备的方法。所述树脂组合物包括特定比例的(A)碱溶性共聚物,(B)1,2-醌二叠氮化物化合物和(C)防水硅氧烷树脂。在有图案绝缘膜的生产方法中,在由树脂组合物形成的涂层上进行形成图案曝光和显影。显示单元和平板显示设备装配有由树脂组合物形成的间层绝缘膜。平板显示设备的生产方法包括间层绝缘膜形成步骤,该步骤包括在曝光中曝光导体层形成区域的形成图案曝光处理,在导体层形成区域的一部分中仅固化表面层部分,和在其它部分中固化在它的厚度方向上的整体,和采用液体材料在间层绝缘膜表面上形成导体层的导体层形成步骤。
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公开(公告)号:CN1272669C
公开(公告)日:2006-08-30
申请号:CN03152470.2
申请日:2003-04-15
IPC分类号: G03F7/039 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC分类号: G03F7/0007 , G02F1/136227 , G03F7/0233 , G03F7/0757
摘要: 本发明提供辐射敏感树脂组合物,用该组合物容易高精度形成防水性变化的有图案绝缘膜,使用此组合物形成有图案绝缘膜的方法,使用此组合物的显示单元和平板显示设备,和生产平板显示设备的方法。所述树脂组合物包括特定比例的(A)碱溶性共聚物,(B)1,2-醌二叠氮化物化合物和(C)防水硅氧烷树脂。在有图案绝缘膜的生产方法中,在由树脂组合物形成的涂层上进行形成图案曝光和显影。显示单元和平板显示设备装配有由树脂组合物形成的间层绝缘膜。平板显示设备的生产方法包括间层绝缘膜形成步骤,该步骤包括在曝光中曝光导体层形成区域的形成图案曝光处理,在导体层形成区域的一部分中仅固化表面层部分,和在其它部分中固化在它的厚度方向上的整体,和采用液体材料在间层绝缘膜表面上形成导体层的导体层形成步骤。
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公开(公告)号:CN1757670B
公开(公告)日:2011-07-06
申请号:CN200510105711.6
申请日:2005-09-27
申请人: JSR株式会社
摘要: 本发明提供一种射线敏感性树脂组合物,能够制造膜厚度、分辨率、图案形状、耐热性、透明性、耐热变色性、耐溶剂性等方面优良的微型透镜,且保存稳定性也良好。射线敏感性树脂组合物特征在于包含(A)使10~50重量%的(a)含酸性官能团的聚合性不饱和化合物、20~60重量%的(b)含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物以及5~40重量%的(c)其它聚合性不饱和化合物(其中,(a)+(b)+(c)=100重量%)聚合所得的碱可溶性共聚物;(B)以含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物为必需成分的聚合性不饱和化合物;以及(C)光聚合引发剂。
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公开(公告)号:CN1757670A
公开(公告)日:2006-04-12
申请号:CN200510105711.6
申请日:2005-09-27
申请人: JSR株式会社
摘要: 本发明提供一种射线敏感性树脂组合物,能够制造膜厚度、分辨率、图案形状、耐热性、透明性、耐热变色性、耐溶剂性等方面优良的微型透镜,且保存稳定性也良好。射线敏感性树脂组合物特征在于包括(A)使10~50重量%的(a)含酸性官能团的聚合性不饱和化合物、20~60重量%的(b)含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物以及5~40重量%的(c)其它聚合性不饱和化合物(其中,(a)+(b)+(c)=100重量%)聚合所得的碱可溶性共聚物;(B)以含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物为必需成分的聚合性不饱和化合物;以及(C)光聚合引发剂。
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公开(公告)号:CN1598695A
公开(公告)日:2005-03-23
申请号:CN200410064064.4
申请日:2004-07-14
申请人: JSR株式会社
CPC分类号: G03F7/001 , G03F7/0007 , G03F7/0046 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/40
摘要: 本发明提供可以容易地形成由2种折射率不同的区域组成的图案的方法。本发明提供一种形成折射率不同的2种区域的方法,其中:使用感辐射性树脂组合物形成具有疏水·疏油性部位的图案,并在其上涂布使用对疏水·疏油性部位润湿性小的溶剂的高折射率树脂溶液。
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