发明公开
CN1499590A 半导体器件及其制造方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 半导体器件及其制造方法
- 专利标题(英): Semiconductor device and its mfg. method
-
申请号: CN200310104597.6申请日: 2003-11-04
-
公开(公告)号: CN1499590A公开(公告)日: 2004-05-26
- 发明人: 春原昌宏
- 申请人: 新光电气工业株式会社
- 申请人地址: 日本长野县
- 专利权人: 新光电气工业株式会社
- 当前专利权人: 新光电气工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本长野县
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 朱海波
- 优先权: 320980/2002 2002.11.05 JP
- 主分类号: H01L21/50
- IPC分类号: H01L21/50 ; H01L25/00 ; H05K3/46
摘要:
一种半导体器件制造方法,其中包括如下步骤:制备在一个表面上具有布线图案的布线基片;通过倒装片焊接把在一个表面上具有预定元件和一个连接端的电子芯片的连接端接合到该布线基片的布线图案上;在该布线基片上形成第一绝缘膜,该第一绝缘膜第一绝缘膜具有覆盖该电子芯片的膜厚或者暴露该电子芯片的至少另一个表面的膜厚;以及通过研磨该第一绝缘膜和该电子芯片的另一个表面而减小该电子芯片的厚度。
IPC分类: