发明公开
CN1555479A 用于提高光声膜厚度测量系统中的信噪比的方法和设备
失效 - 权利终止
- 专利标题： 用于提高光声膜厚度测量系统中的信噪比的方法和设备
- 专利标题（英）： Method and apparatus for increasing signal to noise ratio in a photoacoustic film thickness measurement system
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申请号： CN02818032.1申请日： 2002-07-12
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公开(公告)号： CN1555479A公开(公告)日： 2004-12-15
- 发明人: C·莫拉斯 , R·J·斯托纳
- 申请人： 鲁道夫科技公司
- 申请人地址： 美国新泽西州
- 专利权人： 鲁道夫科技公司
- 当前专利权人： 鲁道夫科技公司
- 当前专利权人地址： 美国新泽西州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 张雪梅; 张志醒
- 优先权： 60/305,175 2001.07.13 US
- 国际申请： PCT/US2002/022222 2002.07.12
- 国际公布： WO2003/006918 EN 2003.01.23
- 进入国家日期： 2004-03-15
- 主分类号： G01B11/06
- IPC分类号： G01B11/06 ; G01B9/02
摘要：
一种用于提高测量薄膜叠层中各层厚度时的信噪比的设备，使用一种光声测量系统(75)，该系统包括时间差分系统(130)用于诱发泵浦光束脉冲(125A)中的延迟。其中，该时间差分系统(130)使用双折射元件和其它元件来控制泵浦光束脉冲(125A)的偏振。该设备的使用涉及向电光调制器驱动器施加随时间变化的电压并设置时间差分步长；或者，在另一个实施例中，向电光调制器施加随时间变化的电压以诱发垂直偏振的脉冲和水平偏振的脉冲之间的固定延迟Δt。该系统的高频操作提供了对膜的厚度的改进的确定。
公开/授权文献
- CN100565099C 用于提高光声膜厚度测量系统中的信噪比的方法和设备 公开/授权日：2009-12-02