公开(公告)号：CN100565099C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN02818032.1

申请日：2002-07-12

申请人： 鲁道夫科技公司

发明人： C·莫拉斯 ,  R·J·斯托纳

IPC分类号： G01B11/06

CPC分类号： G01B11/0666 ,  G01B11/28 ,  G01N21/1702 ,  G01N2021/1706

摘要： 一种用于提高测量薄膜叠层中各层厚度时的信噪比的设备，使用一种光声测量系统(75)，该系统包括时间差分系统(130)用于诱发泵浦光束脉冲(125A)中的延迟。其中，该时间差分系统(130)使用双折射元件和其它元件来控制泵浦光束脉冲(125A)的偏振。该设备的使用涉及向电光调制器驱动器施加随时间变化的电压并设置时间差分步长；或者，在另一个实施例中，向电光调制器施加随时间变化的电压以诱发垂直偏振的脉冲和水平偏振的脉冲之间的固定延迟Δt。该系统的高频操作提供了对膜的厚度的改进的确定。

公开(公告)号：CN1555479A

公开(公告)日：2004-12-15

申请号：CN02818032.1

申请日：2002-07-12

申请人： 鲁道夫科技公司

发明人： C·莫拉斯 ,  R·J·斯托纳

IPC分类号： G01B11/06 ,  G01B9/02

CPC分类号： G01B11/0666 ,  G01B11/28 ,  G01N21/1702 ,  G01N2021/1706

摘要： 一种用于提高测量薄膜叠层中各层厚度时的信噪比的设备，使用一种光声测量系统(75)，该系统包括时间差分系统(130)用于诱发泵浦光束脉冲(125A)中的延迟。其中，该时间差分系统(130)使用双折射元件和其它元件来控制泵浦光束脉冲(125A)的偏振。该设备的使用涉及向电光调制器驱动器施加随时间变化的电压并设置时间差分步长；或者，在另一个实施例中，向电光调制器施加随时间变化的电压以诱发垂直偏振的脉冲和水平偏振的脉冲之间的固定延迟Δt。该系统的高频操作提供了对膜的厚度的改进的确定。