发明公开
CN1577745A 固体有机金属化合物用填充容器及其填充方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 固体有机金属化合物用填充容器及其填充方法
- 专利标题（英）： Solid organometallic compound-filled container and filling method thereof
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申请号： CN200410064002.3申请日： 2004-07-08
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公开(公告)号： CN1577745A公开(公告)日： 2005-02-09
- 发明人: 富安静夫 , 德留功一 , 羽贺健一
- 申请人： 东曹精细化工株式会社
- 申请人地址： 日本山口县周南市
- 专利权人： 东曹精细化工株式会社
- 当前专利权人： 东曹精细化工株式会社
- 当前专利权人地址： 日本山口县周南市
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 张天安; 杨松龄
- 优先权： 271742/2003 2003.07.08 JP
- 主分类号： H01L21/205
- IPC分类号： H01L21/205 ; C23C16/18 ; C23C16/44 ; C30B35/00
摘要：
提供一种能将固体有机金属化合物用一定的浓度长期稳定地供给MOCVD装置等的气相外延成长用装置的新型填充容器。在具有载体气体导入口(2)和载体气体排出口(3)的固体有机金属化合物用填充容器中，其特征在于有这样的结构，即填充容器内部被分隔为多个纵形空间，从载体导入口(2)导入的载体气体沿各纵形空间流通，从载体气体排出口(3)排出。
公开/授权文献
- CN100394551C 固体有机金属化合物用填充容器及其填充方法 公开/授权日：2008-06-11