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公开(公告)号：CN104254495A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201380021829.3
申请日：2013-04-22
申请人： 东曹精细化工株式会社
CPC分类号： H01L21/02628 , C23C18/1216 , C23C18/1275 , C23C18/1291 , H01L21/02554 , H01L21/02565
摘要： 本发明提供一种可以通过喷雾热分解法等形成能够适用于氧化物半导体膜等的复合氧化物薄膜的组合物以及使用该组合物形成复合氧化物薄膜的方法。本发明涉及一种复合氧化物制造用组合物，其含有选自含锌元素的化合物和含3B族元素的化合物中的至少一种化合物、所述化合物的通过水得到的部分水解物或所述化合物与所述部分水解物，以及选自含4A族元素的化合物和含4B族元素的化合物中的至少一种化合物、所述化合物的通过水得到的部分水解物或所述化合物与所述部分水解物。本发明涉及复合氧化物薄膜的制造方法，该薄膜相对于可见光具有80%以上的平均透射率，所述方法包括在惰性气体气氛下将所述组合物涂布在基板表面上，接着进行至少一次对得到的涂膜加热的操作。
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公开(公告)号：CN1577745A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410064002.3
申请日：2004-07-08
申请人： 东曹精细化工株式会社
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/18 , C23C16/44 , C30B35/00
摘要： 提供一种能将固体有机金属化合物用一定的浓度长期稳定地供给MOCVD装置等的气相外延成长用装置的新型填充容器。在具有载体气体导入口(2)和载体气体排出口(3)的固体有机金属化合物用填充容器中，其特征在于有这样的结构，即填充容器内部被分隔为多个纵形空间，从载体导入口(2)导入的载体气体沿各纵形空间流通，从载体气体排出口(3)排出。
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公开(公告)号：CN110234623B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201880009707.5
申请日：2018-01-30
申请人： 东曹精细化工株式会社
摘要： 本发明涉及溶液，其含有具有烷氧基的二酮化合物、下述通式(1)所示的二烷基锌和/或该二烷基锌的部分水解物、和溶剂；以及氧化锌薄膜的制造方法，在基材上涂布前述含有二烷基锌溶液或二烷基锌部分水解物的溶液，得到氧化锌薄膜。本发明提供可以在空气中进行处理、即使在空气中成膜也能够形成对基材的密合性高的透明薄膜的含有二烷基锌或二烷基锌部分水解物的溶液、和氧化锌薄膜的制造方法。(式中，R10为碳原子数为1~6的直链或支链的烷基)。
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4.发明公开公开(公告)号：CN106573790A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580044877.3
申请日：2015-08-20
申请人： 东曹精细化工株式会社
IPC分类号： C01F7/02 , B05D3/02 , B05D7/24 , C01F7/30 , H01L21/316
摘要： 公开了氧化铝薄膜的制造方法。(1)溶液，其含有烷基铝化合物或其部分水解物、和通式(4)的环状酰胺化合物。(2)方法，将含通式(6)所示的有机铝化合物的部分水解物的组合物在惰性气体氛围下涂布于基材表面上并进行加热。(3)方法，将前述通式(6)所示的有机铝化合物或其部分水解物的有机溶剂溶液进行喷雾涂布从而形成涂布膜，加热从而形成铝氧化物膜。(4)方法，将含有烷基铝化合物、和具有供电子性且不含活性氢原子的有机溶剂的溶液涂布于基材上，对所形成的涂膜进行加热，从而得到氧化铝薄膜。(5)包含前述溶液的钝化膜形成剂、使用其制造具有钝化膜的硅基材的方法。具有钝化膜的硅基板和太阳能电池元件。(4)(6)。
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公开(公告)号：CN102482113A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080027443.X
申请日：2010-04-21
申请人： 东曹精细化工株式会社
CPC分类号： C01G9/02 , C01P2002/50 , C01P2002/52 , C01P2002/72 , C01P2002/86 , C01P2006/40 , C01P2006/42 , C01P2006/60 , H01L31/1884 , Y02E10/50
摘要： 本发明提供以有机锌化合物作为原料、没有可燃性、容易处理、通过300℃以下的加热可形成透明的掺杂了IIIB族元素或未掺杂的氧化锌薄膜的氧化锌薄膜制造用组合物，以及使用该组合物的、获得透明的掺杂了IIIB族元素或未掺杂的氧化锌薄膜的方法。本发明的氧化锌薄膜制造用组合物包含如下得到的产物：向有机锌化合物或者有机锌化合物与IIIB族元素化合物的溶液中添加水，使有机锌化合物部分水解，得到产物。含有IIIB族元素化合物时，其相对于有机锌化合物的摩尔比为0.005-0.3。将该组合物涂布于基板表面，加热，形成掺杂了IIIB族元素的氧化锌薄膜。
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公开(公告)号：CN100394551C
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200410064002.3
申请日：2004-07-08
申请人： 东曹精细化工株式会社
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/18 , C23C16/44 , C30B35/00
摘要： 提供一种能将固体有机金属化合物用一定的浓度长期稳定地供给MOCVD装置等的气相外延成长用装置的新型填充容器。在具有载体气体导入口(2)和载体气体排出口(3)的固体有机金属化合物用填充容器中，其特征在于有这样的结构，即填充容器内部被分隔为多个纵形空间，从载体导入口(2)导入的载体气体沿各纵形空间流通，从载体气体排出口(3)排出。
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公开(公告)号：CN1269188C
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN03102112.3
申请日：2003-02-08
申请人： 东曹精细化工株式会社
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/285 , C23C16/18
摘要： 提供一种可以长时间以一定浓度稳定地向MOCVD装置等气相外延生长用装置供应固体有机金属化合物的新型填充容器。这种固体有机金属化合物用填充容器具有载气导入口(2)和载气排出口(3)，其特征在于该容器具有以下结构：填充容器内部被分为多个纵向空间，利用载气流通方向反转装置(6)，使从载气导入口(2)导入的载气作为向下的气流流通过各纵向空间，并从载气排出口(3)排出。
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公开(公告)号：CN109153580B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN201780030640.9
申请日：2017-05-12
申请人： 东曹精细化工株式会社
IPC分类号： C01F7/02 , C01F7/30 , C01F7/021 , B05D7/04 , C01G9/02 , C07F5/06 , C08L23/00 , C23C18/12 , C23C26/00 , B82Y30/00
摘要： 第一方面：使用含有由三烷基铝或它们的混合物构成的烷基铝化合物的部分水解物(用相对于烷基铝化合物中的铝的摩尔比为0.5～1.4的范围的水水解的产物)和溶剂(非极性溶剂或非极性溶剂的混合物)的氧化铝形成剂来制造氧化铝。即使在不耐极性溶剂的基材上、基材中也可以制造氧化铝薄膜、氧化铝粒子。第二方面：含有氧化锌粒子或氧化铝粒子的聚烯烃系聚合物纳米复合材料的制造方法，其使用含烷基锌部分水解物的溶液、或含烷基铝部分水解物的溶液。聚烯烃系聚合物纳米复合材料，其含有聚烯烃基材和氧化锌粒子或氧化铝粒子，不含分散剂，且氧化锌粒子或氧化铝粒子的平均粒径低于100nm。
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公开(公告)号：CN106573790B
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201580044877.3
申请日：2015-08-20
申请人： 东曹精细化工株式会社
IPC分类号： C01F7/02 , B05D3/02 , B05D7/24 , C01F7/30 , H01L21/316
摘要： 公开了氧化铝薄膜的制造方法。(1)溶液，其含有烷基铝化合物或其部分水解物、和通式(4)的环状酰胺化合物。(2)方法，将含通式(6)所示的有机铝化合物的部分水解物的组合物在惰性气体氛围下涂布于基材表面上并进行加热。(3)方法，将前述通式(6)所示的有机铝化合物或其部分水解物的有机溶剂溶液进行喷雾涂布从而形成涂布膜，加热从而形成铝氧化物膜。(4)方法，将含有烷基铝化合物、和具有供电子性且不含活性氢原子的有机溶剂的溶液涂布于基材上，对所形成的涂膜进行加热，从而得到氧化铝薄膜。(5)包含前述溶液的钝化膜形成剂、使用其制造具有钝化膜的硅基材的方法。具有钝化膜的硅基板和太阳能电池元件。(4)；(6)。
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公开(公告)号：CN107108255B
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201580057748.8
申请日：2015-10-01
申请人： 东曹精细化工株式会社
摘要： 本发明涉及含有第IIA族元素的氧化锌薄膜制备用组合物，其是由下述通式(1)表示的有机锌化合物的部分水解物和第IIA族元素溶解于有机溶剂中的溶液。该溶液还可以包含第IIIA族元素。R1－Zn－R1(1)(式中，R 1是碳数1~7的直链或支链的烷基)本发明是可以以单液的涂布成膜进行含有第IIA族元素的氧化锌薄膜的形成的含有第IIA族元素的氧化锌薄膜制备用组合物及其制备方法。
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