发明公开
- 专利标题： 层组合及制造层组合之方法
- 专利标题（英）： Layer arrangement and process for producing a layer arrangement
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申请号： CN03813829.8申请日： 2003-06-03
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公开(公告)号： CN1663040A公开(公告)日： 2005-08-31
- 发明人: H·-J·巴思 , R·塞滋
- 申请人： 因芬尼昂技术股份公司
- 申请人地址： 德国慕尼黑
- 专利权人： 因芬尼昂技术股份公司
- 当前专利权人： 因芬尼昂技术股份公司
- 当前专利权人地址： 德国慕尼黑
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 温宏艳; 赵苏林
- 优先权： 10227615.3 2002.06.20 DE
- 国际申请： PCT/DE2003/001827 2003.06.03
- 国际公布： WO2004/001842 DE 2003.12.31
- 进入国家日期： 2004-12-14
- 主分类号： H01L21/768
- IPC分类号： H01L21/768 ; H01L23/522 ; H01L21/316
摘要：
本发明系相关于一层组合以及产生一层组合之方法。该层组合系具有配置于一基板上并且包括一第一次区域以及一第二次区域的一层，其中，该第一次区域系包括可分解材质，以及该第二次区域系紧接于该第一次区域而配置，且系具有包括一非可分解材质的一有用结构(useful structure)，再者，该层组合系亦具有一覆盖层，位在包括可分解材质以及该有用结构之该层上，而该层组合系以该可分解材质可以自该层组合被移除的方式而加以设计。
公开/授权文献
- CN100349280C 层组合及制造层组合之方法 公开/授权日：2007-11-14
IPC分类:
