发明公开
- 专利标题： 多个扫描探针的软件同步
- 专利标题（英）： Software synchronization of multiple scanning probes
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申请号： CN03816140.0申请日： 2003-07-07
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公开(公告)号： CN1666312A公开(公告)日： 2005-09-07
- 发明人: 凯西·帕特里克·黑尔 , 安德鲁·诺曼·埃里克森
- 申请人： 马尔蒂普罗布公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 马尔蒂普罗布公司
- 当前专利权人： 马尔蒂普罗布公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 王允方; 刘国伟
- 优先权： 60/394,414 2002.07.08 US
- 国际申请： PCT/US2003/021223 2003.07.07
- 国际公布： WO2004/006302 EN 2004.01.15
- 进入国家日期： 2005-01-07
- 主分类号： H01J37/00
- IPC分类号： H01J37/00 ; H01J3/14 ; G01B5/28
摘要：
本发明涉及一种近距离扫描多探针扫描显微镜的方法及装置，其可同时对多个重叠扫描区域进行扫描并避免碰撞，其使用一控制系统(130)向一第一原子力显微镜(AFM)(148a)提供驱动信号，并依据第一驱动信号及其他AFM距该第一AFM的相对位置向其他AFM(148b及148c)提供计算出的驱动信号，以使其在移动中保持恒定间隔。使用多个AFM对多个目标形貌进行扫描及故障分析(FA)探测可减少勘定FA形貌及建立测量值所需时间。
公开/授权文献
- CN100477067C 多个扫描探针的软件同步 公开/授权日：2009-04-08