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公开(公告)号:CN1666312A
公开(公告)日:2005-09-07
申请号:CN03816140.0
申请日:2003-07-07
申请人: 马尔蒂普罗布公司
发明人: 凯西·帕特里克·黑尔 , 安德鲁·诺曼·埃里克森
CPC分类号: G01Q10/06 , G01Q30/04 , G01Q70/06 , Y10S977/85 , Y10S977/874
摘要: 本发明涉及一种近距离扫描多探针扫描显微镜的方法及装置,其可同时对多个重叠扫描区域进行扫描并避免碰撞,其使用一控制系统(130)向一第一原子力显微镜(AFM)(148a)提供驱动信号,并依据第一驱动信号及其他AFM距该第一AFM的相对位置向其他AFM(148b及148c)提供计算出的驱动信号,以使其在移动中保持恒定间隔。使用多个AFM对多个目标形貌进行扫描及故障分析(FA)探测可减少勘定FA形貌及建立测量值所需时间。
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公开(公告)号:CN100477067C
公开(公告)日:2009-04-08
申请号:CN03816140.0
申请日:2003-07-07
申请人: 马尔蒂普罗布公司
发明人: 凯西·帕特里克·黑尔 , 安德鲁·诺曼·埃里克森
CPC分类号: G01Q10/06 , G01Q30/04 , G01Q70/06 , Y10S977/85 , Y10S977/874
摘要: 本发明涉及一种近距离扫描多探针扫描显微镜的方法及装置,其可同时对多个重叠扫描区域进行扫描并避免碰撞,其使用一控制系统(130)向一第一原子力显微镜(AFM)(148a)提供驱动信号,并依据第一驱动信号及其他AFM距该第一AFM的相对位置向其他AFM(148b及148c)提供计算出的驱动信号,以使其在移动中保持恒定间隔。使用多个AFM对多个目标形貌进行扫描及故障分析(FA)探测可减少勘定FA形貌及建立测量值所需时间。
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