发明公开
CN1689162A 高密度氮化物只读存储器鳍形场效晶体管
无效 - 撤回
- 专利标题: 高密度氮化物只读存储器鳍形场效晶体管
- 专利标题(英): High-density NROM-FINFET
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申请号: CN03821241.2申请日: 2003-08-21
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公开(公告)号: CN1689162A公开(公告)日: 2005-10-26
- 发明人: F·霍夫曼恩 , E·兰德格拉夫 , R·J·鲁肯 , W·雷斯纳 , M·斯佩奇特
- 申请人: 因芬尼昂技术股份公司
- 申请人地址: 德国慕尼黑
- 专利权人: 因芬尼昂技术股份公司
- 当前专利权人: 因芬尼昂技术股份公司
- 当前专利权人地址: 德国慕尼黑
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 程天正; 陈景峻
- 优先权: 10241170.0 2002.09.05 DE
- 国际申请: PCT/EP2003/009297 2003.08.21
- 国际公布: WO2004/023519 DE 2004.03.18
- 进入国家日期: 2005-03-07
- 主分类号: H01L27/115
- IPC分类号: H01L27/115 ; H01L21/8247 ; H01L21/8246
摘要:
本发明是关于一种具有多个单元的半导体存储器,其中各该存储单元包含了:一第一传导性掺杂接触区域(S/D)、一第二传导性掺杂接触区域(S/D)与排列在后者间的一信道区域,该等区域是形成于由半导体材料所制成的一网状肋形物中(FIN)且于该肋形物(FIN)的纵向方向上先后依序排列;一存储层(18),其于该肋形物的该上侧边(10)上与一绝缘层(20)间隔排列;以及至少一栅极电极(WL1),其藉由一第二绝缘层(22)而自该一肋形物侧面隔开,并藉由一第三绝缘层(29)而自该存储层(18)隔开,其中该栅极电极(WL1)与该信道区域电性绝缘且用于控制其电传导性。
IPC分类: