发明公开
CN1750380A 压电致动器和微机电器件
失效 - 权利终止
- 专利标题: 压电致动器和微机电器件
- 专利标题(英): Piezoelectric actuator and micro-electromechanical device
-
申请号: CN200510103951.2申请日: 2005-09-16
-
公开(公告)号: CN1750380A公开(公告)日: 2006-03-22
- 发明人: 川久保隆 , 长野利彦 , 阿部和秀 , 西垣亨彦
- 申请人: 株式会社东芝
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社东芝
- 当前专利权人: 株式会社东芝
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 张浩
- 优先权: 2004-269911 2004.09.16 JP
- 主分类号: H02N2/02
- IPC分类号: H02N2/02
摘要:
一种压电致动器,包括第一横梁,第一横梁包括第一底电极,在第一底电极上的第一压电膜,以及在第一压电膜上的第一顶电极,设置在第一横梁的一端并固定在衬底上的固定端,设置在第一横梁的另一端并悬浮在自由空间上的连接端;以及第二横梁,第二横梁包括在连接端连接到第一压电膜的第二压电膜,在第二压电膜下面的第二底电极,以及在第二压电膜上的第二顶电极,设置在第二横梁的一端并悬浮在自由空间上的工作端,该端与设置了连接端的另一端相对;其中固定端与工作端的中心之间的距离比工作端到连接端之间的距离短。
公开/授权文献
- CN1750380B 压电致动器和微机电器件 公开/授权日:2012-04-04