压控振荡器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1599235A

    公开(公告)日:2005-03-23

    申请号:CN200410079000.1

    申请日:2004-09-17

    IPC分类号: H03B5/12

    摘要: 本发明提供包括薄膜BAW谐振器56和可变电容器元件30的压控振荡器。薄膜BAW谐振器56包含在Si衬底21上形成的固定部分22,在固定部分22上支持并且被布置成面对Si衬底21的下部电极24,在下部电极24上形成的第一压电薄膜25,和在第一压电薄膜25上形成的上部电极26。另一方面,可变电容器元件30包含在Si衬底31上形成的固定电极42,在Si衬底31上形成的固定部分38,在固定部分38上支持并且被布置成面对Si衬底31的第一电极33,在第一电极33上形成的第二压电薄膜34,和在第二压电薄膜34上形成的第二电极35。

    薄膜压电致动器
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100492692C

    公开(公告)日:2009-05-27

    申请号:CN200510008265.7

    申请日:2005-02-07

    IPC分类号: H01L41/08

    摘要: 本发明公开一种薄膜压电致动器,包括一个驱动部分,至少其一端被一个锚部件支撑,所述驱动部分包括:压电薄膜;在所述压电薄膜的第一区域下面设置的第一下电极;在所述压电薄膜的不同于第一区域的第二区域下面设置的第二下电极;在所述压电薄膜上与所述第一下电极相对设置的第一上电极;在所述压电薄膜上与所述第二下电极相对设置的第二上电极;通过在所述压电薄膜上形成的第一通孔电连接所述第一下电极和所述第二上电极的第一连接部件;以及通过在所述压电薄膜上形成的第二通孔电连接所述第二下电极和所述第一上电极的第二连接部件。

    薄膜压电致动器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1655373A

    公开(公告)日:2005-08-17

    申请号:CN200510008265.7

    申请日:2005-02-07

    IPC分类号: H01L41/08

    摘要: 本发明公开一种薄膜压电致动器,包括一个驱动部分,至少其一端被一个锚部件支撑,所述驱动部分包括:压电薄膜;在所述压电薄膜的第一区域下面设置的第一下电极;在所述压电薄膜的不同于第一区域的第二区域下面设置的第二下电极;在所述压电薄膜上与所述第一下电极相对设置的第一上电极;在所述压电薄膜上与所述第二下电极相对设置的第二上电极;通过在所述压电薄膜上形成的第一通孔电连接所述第一下电极和所述第二上电极的第一连接部件;以及通过在所述压电薄膜上形成的第二通孔电连接所述第二下电极和所述第一上电极的第二连接部件。

    发光装置及其制造方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101308898B

    公开(公告)日:2010-06-09

    申请号:CN200810099493.3

    申请日:2008-05-16

    IPC分类号: H01L33/00

    摘要: 一种能容易地制造在基板上搭载发光芯片、在其外侧配置有含荧光体的透明树脂的发光装置的方法。该发光装置制造方法包括:搭载步骤,将发光芯片(3)搭载在基板(20)上;圆顶形成步骤,利用液滴排出装置使液滴向上排出,从而在基板(20)上形成充满发光芯片(3)外侧并覆盖成圆顶状的透明树脂部(4)以及含有荧光体并形成在透明树脂部(4)外侧的荧光体层(5);反射层形成步骤,在圆顶状的透明树脂部(4)和荧光体层(5)外侧,在与基板接触的位置附近形成反射层(6)。圆顶形成步骤也可包括在排出的透明树脂固化之前使透明树脂中的荧光体沉降到圆顶表面附近的沉降步骤。