具有探针阵列的电阻式存储装置及其制造方法
摘要:
提供了一种具有探针阵列的电阻式存储装置及其制造方法。所述电阻式存储装置包括:存储部分,其具有依次形成在第一衬底上的底电极和铁电层;探针部分,其具有设置在第二衬底上的电阻式探针的阵列,所述电阻式探针的尖端面对所述铁电层使得所述电阻式探针能够在所述铁电层上写和读数据;以及粘合层,其将所述电阻式探针抓住并固定在所述铁电层上或所述铁电层上方。该电阻式存储装置的制造方法包括:在第一衬底上依次形成底电极和铁电层;在第二衬底上形成用于写和读数据的电阻式探针的阵列;以及使用粘合层将所述第一衬底晶片级结合到所述第二衬底上使得所述电阻式探针的尖端面对所述铁电层的表面。
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