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半导体器件及其制造方法
Abstract:
提供一种半导体器件及其制造方法,在半导体器件的制造工艺中,电镀和CMP已经导致增加用于形成布线的制造成本的一种问题。相应地,在其上形成掩模之后,在多孔绝缘膜中形成开口,并将含有Ag的导电材料注入开口内。进一步地,通过选择性激光照射烘焙注入开口内的导电材料,形成第一导电层。随后,通过溅射,在整个表面之上形成金属膜,此后去除掩模,以便在第一导电层之上仅仅保留金属膜,由此形成由含有Ag的第一导电层和第二导电层(金属膜)的叠层形成的嵌入布线层。
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