发明公开
CN1802550A 利用静电耦合的微加工振动陀螺仪
失效 - 权利终止
- 专利标题: 利用静电耦合的微加工振动陀螺仪
- 专利标题(英): Micromachined vibratory gyroscope with electrostatic coupling
-
申请号: CN200480006120.7申请日: 2004-03-03
-
公开(公告)号: CN1802550A公开(公告)日: 2006-07-12
- 发明人: 严海 , R·布格哈特 , B·哈特曼 , K·卡普塞尔 , M·罗斯
- 申请人: BEI科技公司 , 康蒂-特米克微电子有限公司 , 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚
- 专利权人: BEI科技公司,康蒂-特米克微电子有限公司,大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司
- 当前专利权人: BEI科技公司,康蒂-特米克微电子有限公司,大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 杨晓光; 于静
- 优先权: 60/453,033 2003.03.06 US; 10/792,043 2004.03.02 US
- 国际申请: PCT/US2004/006453 2004.03.03
- 国际公布: WO2004/081495 EN 2004.09.23
- 进入国家日期: 2005-09-06
- 主分类号: G01C19/56
- IPC分类号: G01C19/56
摘要:
一种微加工振动陀螺仪,其具有两个或多个被悬置在平面基板上的共面的可移动块。将两个垂直的轴(x和y)限定在基板平面内,而将第三轴,即z轴或输入轴,限定为垂直于基板平面。所述两个块沿x轴的移动通过静电耦合装置耦合,使得沿x轴的同相模式和反相模式的谐振的固有谐振频率互相分离。当驱动所述两个块以反相模式沿x轴振动、并且上述装置绕z轴旋转时,科里奥利力在Y方向上差动地作用于所述块,导致所述两个块以反相模式沿y轴振动。可以通过速度传感器直接检测沿y轴的反相振动,以测量绕z轴的旋转的转速。可选的是,可以将所述第一和第二体沿y轴的反相振动传递到其它可移动体(即速度检测块),然后检测所述可移动体的移动以测量绕z轴的旋转的转速。优选以这种方式悬置所述检测体,使得在没有科里奥利力时,振动块沿x轴的移动不影响检测体。这阻止了所述检测体响应基板平面内的线性加速度而移动,但允许这些体易于响应由科里奥利力引起的绕垂直于基板平面的轴的移动。
公开/授权文献
- CN100561126C 利用静电耦合的微加工振动陀螺仪 公开/授权日:2009-11-18