发明公开
- 专利标题： 光波导装置、光波导装置的制造方法以及光通信装置
- 专利标题（英）： Optical waveguide device, manufacturing method thereof, and optical communication apparatus
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申请号： CN200610005929.9申请日： 2003-07-01
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公开(公告)号： CN1808195A公开(公告)日： 2006-07-26
- 发明人: 速水一行 , 古村由幸 , 寺川裕佳里 , 细川速美 , 高桥敏幸 , 樋口诚良 , 多田罗佳孝 , 安田成留 , 野泽洋人
- 申请人： 欧姆龙株式会社
- 申请人地址： 日本京都府
- 专利权人： 欧姆龙株式会社
- 当前专利权人： 欧姆龙株式会社
- 当前专利权人地址： 日本京都府
- 代理机构： 隆天国际知识产权代理有限公司
- 代理商 高龙鑫; 王玉双
- 优先权： 2002－194017 2002.07.02 JP; 2003－11709 2003.01.20 JP
- 分案原申请号： 031481280
- 主分类号： G02B6/138
- IPC分类号： G02B6/138 ; G02B6/12 ; G02B6/30
摘要：
提供一种光波导装置的制造方法，简化光波导装置的制造工序，适合于大量生产。设置用于将光纤固定到硅基板的波导固定区域外的光纤引导槽和用于设置元件安装台的光学元件设置部。金属薄膜形成在硅基板的波导固定区域以外。在该硅基板的整个上面经构成上包覆层的粘接树脂粘接波导基板后，沿着波导固定区域的边缘切割波导基板，去除波导固定区域外部的波导基板，露出光纤引导槽和光学元件设置部。