光波导、光波导装置及它们的制造方法以及光通信装置

    公开(公告)号:CN1480754A

    公开(公告)日:2004-03-10

    申请号:CN03146615.X

    申请日:2003-07-08

    IPC分类号: G02B6/30 G02B6/42

    CPC分类号: G02B6/4246 G02B6/423

    摘要: 提供一种简化光波导装置的制造工序,并适于大量生产的光波导装置的制造方法。假定以滤光片插入槽(5b)作为对角线并以邻接滤光片插入槽(5b)的滤光片插入槽(5a、5c)上的点作为顶点的长方形为单位长方形(7),使光波导装置(1)的大小为单位长方形(7)的整数倍,即使在将多个光波导装置(1)配置为矩阵状的状态下形成滤光片插入槽(5),各光波导装置(1)也可以形成为同一形状。在各光波导装置(1)上形成的滤光片插入槽(5)不会切断其它光波导装置(1)的波导芯(4)的目的外的地方。因此,由于可以简化制造工序,并适于大量生产,所以可以抑制制造成本。

    静电电容型压力传感器、压力检测器及输入装置

    公开(公告)号:CN104848971A

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201510056317.1

    申请日:2015-02-03

    IPC分类号: G01L1/14

    摘要: 本发明提供一种隔膜不易产生初期变形的静电电容型压力传感器、压力检测器及输入装置。固定电极基板(32)的上面由电介质膜(33)覆盖。在压缩应力膜(38)的上面或下面的一方形成有凹槽(34)(凹部)。在电介质膜(33)之上层叠上基板(35)。上基板(35)中与凹槽(34)相对的区域成为可弹性变形的隔膜(36),在隔膜(36)的上面的至少一部分形成有压缩应力膜(38)。

    静电容量型压力传感器、压力检测器及输入装置

    公开(公告)号:CN104848970A

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201510055458.1

    申请日:2015-02-03

    IPC分类号: G01L1/14

    摘要: 一种静电容量型压力传感器、压力检测器及输入装置,在使用了半导体基板的静电容量型压力传感器中进一步扩大动态范围。通过电介体层(33)覆盖P型或N型的半导体基板(32)的上面。在电介体层的上面形成凹槽(34)。在电介体层的上面层叠上基板(35)。上基板(35)中与凹槽(34)相对的区域为可变形的隔膜(36),隔膜(36)的外周部分(37)固定于电介体层的上面。在半导体基板的表层部设置有由具有与半导体基板反极性的导电型的杂质层构成的固定电极(42)。另外,在半导体基板的表层部,在上基板(35)的被固定的区域(外周部分37)的下方形成有由具有与半导体基板反极性的导电型的杂质层构成的反极性层(46)。