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公开(公告)号：CN1246712C
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN03148128.0
申请日：2003-07-01
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G02B6/12
CPC classification number: G02B6/4246 , G02B6/12007 , G02B6/125 , G02B6/138 , G02B6/30 , H01L31/14
Abstract: 提供一种光波导装置的制造方法，简化光波导装置的制造工序，适合于大量生产。设置用于将光纤固定到硅基板的波导固定区域外的光纤引导槽和用于设置元件安装台的光学元件设置部。金属薄膜形成在硅基板的波导固定区域以外。在该硅基板的整个上面经构成上包覆层的粘接树脂粘接波导基板后，沿着波导固定区域的边缘切割波导基板，去除波导固定区域外部的波导基板，露出光纤引导槽和光学元件设置部。
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公开(公告)号：CN104054357A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201280067451.6
申请日：2012-11-14
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B3/0056 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , G01H11/06 , G01L9/12 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00
Abstract: 本发明提供一种电容式传感器及其制造方法，在硅基板(32)上设置在上下开口的贯通孔(33)。在硅基板(32)的贯通孔(33)的上方配置隔膜(35)。隔膜(35)的周缘部与硅基板(32)的上面隔开间隙而相对，在隔膜(35)的周缘部下面和硅基板(32)的上面之间形成用于使声响振动通过的通风孔(36)。在隔膜(35)的上方经由气隙设置固定电极膜(46)。在硅基板(32)的上面中的与隔膜(35)的周缘部重合的区域，设置至少一部分由倾斜面构成的排气部(34)。排气部(34)以至少在一部分与硅基板(32)的上面平行的截面面积随着从排气部(34)的上面开口向下方而变小的方式形成。排气部(34)的倾斜面由硅基板(32)的最稠密面构成。
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公开(公告)号：CN102907118A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201180025800.3
申请日：2011-04-20
Applicant: 欧姆龙株式会社 , 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: H04R19/005 , H04R19/04 , H04R2410/03
Abstract: 在本发明的音响传感器(1)中，在硅基板(11)的上表面，隔着气隙(22)而配置有导电性的振动膜(14)和上固定电极板(5)，并且在硅基板(11)的表面上添加有杂质。
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公开(公告)号：CN101784929A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200880104345.4
申请日：2008-10-07
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G02B6/43 , G02B6/4214
Abstract: 本发明涉及一种光波导、光传输模块、电子设备、及光波导的制造方法，该光波导构成为以在光波导的光传输方向的任意部位稳定地控制信号损耗、基于受光元件的信号光的受光效率为目的，光波导(4)具备由具有透光性的材料构成的芯部(10)，至少在该芯部(10)形成有对来自光学元件的信号光进行反射来转换信号光的光路的光路转换反射镜(4A)，通过光路转换反射镜(4A)的反射，在芯部(10)内传输信号光，在以光学元件的光轴方向为Y方向，且以光波导(4)的信号光的行进方向为Z方向时，若以与Y方向和Z方向这两个方向都垂直的方向为X方向，则在用YZ平面剖开芯部(10)的剖面形状中，光路转换反射镜(4A)与该芯部(10)底面所成的倾斜角度α在X方向上变化。
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公开(公告)号：CN101784382A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200880104339.9
申请日：2008-08-27
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G02B6/1221 , B29B13/023 , B29C65/02 , B29C65/1406 , B29C65/8207 , B29C66/0242 , B29C66/0244 , B29C66/0342 , B29C66/1122 , B29C66/45 , B29C66/71 , B29C66/737 , B29C66/73774 , B29C66/73921 , B29C66/91411 , B29C66/91645 , B29C66/91921 , B29K2023/12 , B29K2067/00 , B29K2075/00 , B29K2079/08 , B29K2995/0018 , B29K2995/004 , B29K2995/0041 , B29L2011/0066 , B29L2031/3431 , B29L2031/767 , G02B6/138 , G02B6/3604 , G02B6/43 , H04M1/0214 , H04M1/026 , H04M1/22 , Y10T428/31511 , Y10T428/31565 , Y10T428/31663 , Y10T428/31797 , B29K2067/003 , B29K2033/08 , B29K2023/18 , B29K2023/06
Abstract: 以得到能够提高基板和聚合物层之间的粘合性的有机装置为目的，本发明的有机装置的结构为：具备由聚合物构成的基板(1)，且在基板(1)上粘结聚合物层(2)。在本发明的有机装置中，基板(1)上与聚合物层(2)之间的粘结面(1a)的结晶化度比基板(1)内部的结晶化度低，从而可以提高基板(1)和聚合物层(2)之间的粘合性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1808195A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200610005929.9
申请日：2003-07-01
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G02B6/30 , G02B6/12007 , G02B6/125 , G02B6/138 , G02B6/42 , G02B6/4214 , G02B6/423 , G02B6/4246 , G02B2006/12109
Abstract: 提供一种光波导装置的制造方法，简化光波导装置的制造工序，适合于大量生产。设置用于将光纤固定到硅基板的波导固定区域外的光纤引导槽和用于设置元件安装台的光学元件设置部。金属薄膜形成在硅基板的波导固定区域以外。在该硅基板的整个上面经构成上包覆层的粘接树脂粘接波导基板后，沿着波导固定区域的边缘切割波导基板，去除波导固定区域外部的波导基板，露出光纤引导槽和光学元件设置部。
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公开(公告)号：CN103503481A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201280021455.0
申请日：2012-08-29
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: B81B3/0027 , B81C1/00531 , H04R1/2807 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00
Abstract: 在基板42上以从基板42的表面贯通至基板42的背面的方式设置有空洞44。在空洞44的上方，并在基板42的上方设置有感知声音振动的薄膜状的膜片43。空洞44的至少一个壁面由第一斜面47a和第二斜面47b构成，第一斜面47a在基板42的表面和基板42的厚度方向中间部之间，并随着从基板42的表面朝向所述中间部而逐渐向基板42的外侧变宽，所述第二斜面47b在所述中间部的和基板42的背面之间，并随着从所述中间部朝向基板42的背面而逐渐向基板42的内侧变窄。另外，空洞44的背面开口宽度小于表面开口宽度。
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公开(公告)号：CN101784929B
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN200880104345.4
申请日：2008-10-07
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G02B6/43 , G02B6/4214
Abstract: 本发明涉及一种光波导、光传输模块、电子设备、及光波导的制造方法，该光波导构成为以在光波导的光传输方向的任意部位稳定地控制信号损耗、基于受光元件的信号光的受光效率为目的，光波导(4)具备由具有透光性的材料构成的芯部(10)，至少在该芯部(10)形成有对来自光学元件的信号光进行反射来转换信号光的光路的光路转换反射镜(4A)，通过光路转换反射镜(4A)的反射，在芯部(10)内传输信号光，在以光学元件的光轴方向为Y方向，且以光波导(4)的信号光的行进方向为Z方向时，若以与Y方向和Z方向这两个方向都垂直的方向为X方向，则在用YZ平面剖开芯部(10)的剖面形状中，光路转换反射镜(4A)与该芯部(10)底面所成的倾斜角度α在X方向上变化。
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公开(公告)号：CN1808196A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200610005930.1
申请日：2003-07-01
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G02B6/30 , G02B6/12007 , G02B6/125 , G02B6/138 , G02B6/42 , G02B6/4214 , G02B6/423 , G02B6/4246 , G02B2006/12109
Abstract: 提供一种光波导装置的制造方法，简化光波导装置的制造工序，适合于大量生产。设置用于将光纤固定到硅基板的波导固定区域外的光纤引导槽和用于设置元件安装台的光学元件设置部。金属薄膜形成在硅基板的波导固定区域以外。在该硅基板的整个上面经构成上包覆层的粘接树脂粘接波导基板后，沿着波导固定区域的边缘切割波导基板，去除波导固定区域外部的波导基板，露出光纤引导槽和光学元件设置部。
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公开(公告)号：CN1477410A
公开(公告)日：2004-02-25
申请号：CN03148128.0
申请日：2003-07-01
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G02B6/12
CPC classification number: G02B6/4246 , G02B6/12007 , G02B6/125 , G02B6/138 , G02B6/30 , H01L31/14
Abstract: 提供一种光波导装置的制造方法，简化光波导装置的制造工序，适合于大量生产。设置用于将光纤固定到硅基板的波导固定区域外的光纤引导槽和用于设置元件安装台的光学元件设置部。金属薄膜形成在硅基板的波导固定区域以外。在该硅基板的整个上面经构成上包覆层的粘接树脂粘接波导基板后，沿着波导固定区域的边缘切割波导基板，去除波导固定区域外部的波导基板，露出光纤引导槽和光学元件设置部。
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